







大家都知道,在同一面積內,能放置的直徑或邊長相同的圓形和方型產品面積是不一樣的,一般方型可以放的更多,換句話說,也就是方型對有效空間的利用率更高。那么為什么是晶圓而不是晶方呢?圓形的WAFER里面方型的DIE,總是會產生一定的空間浪費,那么在追求利潤最大和高效率的現代,這樣一種配置還能一直沿用下去的原因,圓形能在各種形狀中脫穎而出的原因,就值得一思。
首先是因為硅晶片的生產過程,硅晶片是將硅提純后再通過單晶直拉法熔融提拉然后切成片片來的,單晶直拉法工藝過程中運用的提拉方式是旋轉提拉,這種提拉方式決定了硅錠的圓柱形,從而決定了晶圓是圓形的
但如果仔細觀察,會發現晶圓也不是標準的圓形,如圖:
是有平槽或V槽的,這個步驟可以幫助后續工序確定WAFER的擺放位置,也標明了單晶生長的金相,便利于后面的切割及測試程序。而且基本切割都在邊緣位置,算是一定意義上的資源再利用了。
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